케이케이테크가 최고의 품질과 서비스를 제공합니다
기술과 인재를 바탕으로 최고의 제품을 창출하고, 고품질의 서비스를 제공합니다.
대형 Wafer, FPD에 대응
조합에 의해 대배기량화 가능 15만 L/min 이상의 요구에도 대응 가능
고속 배기에 따른 Tact Time 단축
대기 측 배기 속도 확보에 의한 대형 L/L Chamber의 고속 배기 Tact Time 단축
※ 용제 배기용 펌프도 있습니다.
Spec. / Products | SDL12E50/60 | SDL20E60 | SDL36E60 |
---|---|---|---|
Max. pumping speed [L/min] *1 | 25,000 | 40,000 | 60,000 |
Ultimate pressure [Pa] *1 | 0.8 | ||
Supply voltage (50/60Hz) | 3Phase AC200~220V, 380~480V | ||
Dimensions [mm] L×W×H | 1020×520×1050 | 1370×850×1295 | |
Mass [kg] | 645 | 800 | 920 |
*1) Without N2 purge.
* 국제 표준 준수에 대해서는 문의 바랍니다. 또한 사양 및 형식명에 관해서는 예고없이 변경 될 수 있습니다.
해당 홈페이지는 보안이 취약한
Internet Explorer 9 이하를 지원하지 않습니다.
Internet Explorer 10 이상으로 업데이트 하거나
최신 버전의 크롬, 파이어폭스 등의 웹브라우저를 이용해 주십시오.