케이케이테크가 최고의 품질과 서비스를 제공합니다
기술과 인재를 바탕으로 최고의 제품을 창출하고, 고품질의 서비스를 제공합니다.
“More than” Low Power
공정 내구성 / 소비전력 0.7Kw
공정 내구성에 뛰어난 저전력 펌프
경부하부터 Etching, CVD까지 다양한 용도로 사용가능
HOT-N2 purge를 탑재한 MU-H시리즈
Spec. / Products | MU100P/H | MU180P/H | MU300P/H | MU600P/H | MU1218P/H | MU20N18P/H | MU30N18P/H |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Max. pumping speed [L/min] *2 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 |
Ultimate pressure [Pa] *2 | 3.0 | 5.0 | 0.5 | ||||
Supply voltage (50/60Hz) | 3Phase AC200~220V *3 | ||||||
Power consumption [kW] *4 | 0.7 | 1.0 | 0.9 | 0.95 | 1.4 | 1.5 | 1.6 |
Dimensions [mm] L×W×H *5 | 630×350×360 | 715×360×408 | 630×350×520 | 870×380×751 | 1000×450×950 | ||
Mass [kg] | 70 | 130 | 110 | 130 | 280 | 410 | 410 |
*1) Contact us about application beforehand. *2) Without N2 purge. *3) Contact us for other voltage options.
*4) Approx. value at ultimate pressure, +0.2kW with Hot N2 purge. *5) Package size.
* 국제 표준 준수에 대해서는 문의 바랍니다. 또한 사양 및 형식명에 관해서는 예고없이 변경 될 수 있습니다.
* 대용량 펌프도 있으니 문의하시기 바랍니다.
해당 홈페이지는 보안이 취약한
Internet Explorer 9 이하를 지원하지 않습니다.
Internet Explorer 10 이상으로 업데이트 하거나
최신 버전의 크롬, 파이어폭스 등의 웹브라우저를 이용해 주십시오.