Harsh 공정 - SDE Series
모든 공정에 대응 가능한 高내구성 드라이 진공 펌프
케이케이테크가 최고의 품질과 서비스를 제공합니다
기술과 인재를 바탕으로 최고의 제품을 창출하고, 고품질의 서비스를 제공합니다.
Select a Right Pump for the Application
모든 공정에 대응 가능한 高내구성 드라이 진공 펌프
Wafer, FPD 기판의 대형화에 대응하는 대배기량 펌프
Harsh 공정 대응용 SDE시리즈 & L/L 대응용 SDL시리즈
세계 최소 클래스의 크기와 전력을 동시에 실현.
모든 제조 장치에 내장 가능
세계 최고 “에너지 절약” 을 실현한 MU-X 와 MU-P/H 시리즈.
비용절감을 실현한 초소형 공냉식 드라이 펌프
냉각수를 사용하지 않기 때문에 일반 산업 및 연구 분야에 적합
Select a Right Pump for the Performance
Dry Vacuum Pumps Series List
For Harsh Process, Energy Saver, and Large Capacity
| Model | ax pumping speed (L/min) |
Ultimate pressure (Pa) |
|---|---|---|
| SDE90X | 1,300 | 1.3 |
| SDE120TX | 1,500 | 1.3 |
| SDE200 | 3,300 | 1.3 |
| SDE303X | 5,000 | 0.5 |
| SDE603X | 10,000 | 0.5 |
| SDE1203TX | 20,000 | 0.5 |
| SDE20N12TX | 30,000 | 0.5 |
| SDE30N20 | 50,000 | 0.5 |
| SDE60N20 | 100,000 | 0.5 |
| Model | ax pumping speed (L/min) |
Ultimate pressure (Pa) |
|---|---|---|
| SDL12E50/60 | 25,000 | 0.8 |
| SDL20E60 | 40,000 | 0.8 |
| SDL36E60 | 60,000 | 0.8 |
Power Consumption 0.35kW, Extreamly Small Footprint
| Model | ax pumping speed (L/min) |
Ultimate pressure (Pa) |
|---|---|---|
| MU100X | 1,660 | 1.5 |
| MU180X | 5,000 | 1.5 |
| MU300X | 5,000 | 0.5 |
| MU600X | 10,000 | 0.5 |
| MU1218X | 20,000 | 0.5 |
| MU20N18X | 30,000 | 0.5 |
Process Durability, Power Consumption 0.7kW
| Model | ax pumping speed (L/min) |
Ultimate pressure (Pa) |
|---|---|---|
| MU100P/H | 1,660 | 3.0 |
| MU180P/H | 3,000 | 5.0 |
| MU300P/H | 5,000 | 0.5 |
| MU600P/H | 10,000 | 0.5 |
| MU1218P/H | 20,000 | 0.5 |
| MU20N18P/H | 30,000 | 0.5 |
| MU30N18P/H | 50,000 | 0.5 |
Handy & Air Cooled Dry Pump
| Model | ax pumping speed (L/min) |
Ultimate pressure (Pa) |
|---|---|---|
| NeoDry7E | 110 | 5.0 |
| NeoDry15E | 250 | 1.0 |
| NeoDry30E | 500 | 1.0 |
| NeoDry36E | 600 | 1.0 |
| NeoDry60E | 1,000 | 1.0 |
| NeoDry300E | 5,000 | 0.3 |
해당 홈페이지는 보안이 취약한
Internet Explorer 9 이하를 지원하지 않습니다.
Internet Explorer 10 이상으로 업데이트 하거나
최신 버전의 크롬, 파이어폭스 등의 웹브라우저를 이용해 주십시오.